Verbundprojekt – MILLEFEUILLE – Materialien und Technologien für die direkte Herstellung von multiplen ultradünnen Silziumwafern

Zeitraum 01.08.2017 – 31.10.2020

Im Millefeuille-Vefahren werden tiefenmodulierte Poren in Silizium hergestellt. Bei Temperung kommt es zu einer hohen Oberflächendiffusion von Silizium und einer Umorganisation der Struktur entsprechend der Minimierung der Oberflächenenergie. Dies führt unter optimierter Geometrie zu freitragenden Siliziumschichten.

Arbeitsziele im Projektvorhaben:

Das Ziel des Projektvorhabens MILLEFEUILLE ist die Bereitstellung von wissenschaftlichen und technologischen Grundlagen für die kosteneffiziente und skalierbare, d.h. in die Industrie übertragbare, Produktion von ultradünnen monokristallinen Siliziumwafern.

Der Schwerpunkt des Vorhabens liegt in der Entwicklung und Evaluierung neuer Verfahren und Technologien für die Fertigung ultradünner monokristalliner Siliziumwafer (10 µm - 50 µm) sowie deren wirkungsvoller Texturierung zur Erreichung einer hinreichenden Lichtabsorption für die Anwendung in der Photovoltaik.

•      Makroporöse Siliziummembranen können auf Wafer-Skala mit einer beliebigen Dicke zwischen der Gitterkonstante & Wafer-Dicke hergestellt werden.

•      Makroporöse Sackporen können verwendet werden, um kristalline Silizium-Wafer unter Verwendung des ESS-Verfahrens (- empty space in silicon -) zu bilden.

•      3D makroporöses Silizium kann verwendet werden, um mehrere "dünne Wafer" in einem Prozessschritt zu erzeugen (Millefeuille).